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    “中國芯”關鍵材料國產化

    三甲矽烷基胺 （TSA）
    • 中文名：三甲矽烷基胺
    • 英文名：Trisilylamine
    • CAS號：13862-16-3
    • 用途：通過流動化學氣相沉積（FCVD）形成氧化矽
    • 純度指標：99.65%
    • 規格：公斤級
    二異丙氨基矽烷 （DIPAS）
    • 中文名： 二異丙氨基矽烷
    • 英文名：Diisopropylaminosilane
    • CAS號：908831-34-5
    • 用途：形成晶種
    • 純度指標：8N
    • 規格：公斤級
    四氯化鈦 （Ticl₄）
    • 中文名：四氯化鈦
    • 英文名：Titanium tetrachloride
    • CAS號：7550-45-0
    • 熔點：-25℃
    • 沸點：135 - 136 °C
    • 蒸氣壓：12.8 hPa 在 20 °C
    • 產品等級：6N
    • 規格：15kg
    四乙氧基矽烷 （TEOS）
    • 中文名：四乙氧基矽烷
    • 英文名：Tetraethoxysilane
    • CAS號：1978-10-4
    • 熔點：-82.49℃
    • 沸點：168°C
    • 蒸氣壓：10.0 hPa 在 20℃
    • 產品等級：9N
    • 規格：17.7kg、35kg、200kg
    雙（二乙氨基）矽烷 （BDEAS）
    • 中文名： 雙（二乙氨基）矽烷
    • 英文名：Bis(diethylamino)silane
    • CAS號：27804-64-4
    • 熔點：＜-10℃
    • 沸點：188℃
    • 產品等級：5N
    • 規格：10kg
    六氯乙矽烷（HCDS）
    • 中文名：六氯乙矽烷
    • 英文名：Hexachlorodisilane
    • CAS號：13465-77-5
    • 沸點：144 - 145.5℃
    • 產品等級：6N
    • 規格：13kg
    八甲基環四矽氧烷 (OMCTS)
    • 中文名：八甲基環四矽氧烷
    • 英文名：Octamethyl cyclotetrasiloxane
    • CAS號：556-67-2
    • 熔點：17-19℃
    • 沸點：175-176℃
    • 蒸氣壓：1 mmHg (21.7℃)
    • 產品等級：7N5
    • 規格：10kg、18kg、200kg
    四甲基矽烷 （4MS）
    • 中文名：四甲基矽烷
    • 英文名：Tetramethylsilane
    • CAS號：75-76-3
    • 熔點：-99℃
    • 沸點：26-28℃
    • 產品等級：7N5
    • 規格：10kg、20kg、110kg、125kg
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